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日本研制根据木基资料的光刻胶可满意2nm制程需求

来源:安博电竞平台平发表日期:2025-04-24 07:28:33浏览量:1

  1月24日音讯,据日本媒体报导日本两大纸业巨子之一的王子控股(Oji Holdings)正在向成为一家木制资料归纳企业转型,其最新方针是开发一种选用木基生物质资料的正性光阻剂(光刻胶),方针是到2028年到达商业化。

  报导称,王子控股在光阻剂出产上的技能道路,原则是从木材中提取可用于光阻剂的前体资料,然后将前体资料和特定溶剂混合聚合、并选用净化技能去除杂质之后,这样就得到了光阻剂的制品。对此,王子控股声称其木基光阻剂可满意2nm先进制程需求,这代表的也是针对日本新创晶圆代工厂商Rapidus的商机而来。

  事实上,传统的正性光阻剂常常要增加有害的永久化学品PFAS来进步光敏感度。而王子控股的木基光阻剂在EUV极紫外光下的降解速率,相较传统产品高出8倍,特性撤销了了PFAS的运用需求,并且更为环保的一起也可提高先进制成图画化的质量。

  此外,传统光阻剂多为石油基塑料制品,木基光阻剂在出产质料上也可降低了温室气体的排放数量。王子控股表明,其在木基光阻剂上的商业方针是到2030年之前每年到达100亿日元的出售金额。

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