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让先进制程更环保:日本纸业巨子王子控股进军 2nm 木基光刻胶

来源:安博电竞平台平发表日期:2025-04-06 14:02:58浏览量:1

  IT之家 1 月 24 日音讯,日本两大纸业巨子之一的王子控股(Oji Holdings)正在向一家木制资料归纳企业转型,其最新方针是开发一种选用木基生物质资料的正性光刻胶,方针到 2028 年完成商业化。

  王子控股在光刻胶生产上的技能道路是从木材中提取可用于光刻胶的前体资料,然后将前体资料和特定溶剂混合聚合(并选用净化技能去除杂质),这样就得到了光刻胶制品。王子控股声称其木基光刻胶可满意 2nm 先进制程需求。

  传统的正性光刻胶常常要增加有害的“永久化学品”PFAS 来进步光敏度,而王子控股的木基光刻胶在 EUV 极紫外光下的降解速率比传统产品高出 8 倍,这消除了 PFAS 的运用需求,更为环保的一起也可提高先进制程图画化的质量。

  此外传统光刻胶多为石油基塑料,木基光刻胶在质料上也可削减温室气体的排放。

  王子控股表明,其在木基光刻胶上的商业方针是到本世纪 30 时代每年完成 100 亿日元(IT之家补白:当时约 4.67 亿元人民币)的销售额。

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